天車/晶圓傳輸檢測
天車傳輸全稱“空中懸掛式無人搬送車”，用來把半導體晶圓載具從生產(chǎn)機臺吊上、降下并傳送，實現(xiàn)晶圓在生產(chǎn)工序間精準高效流轉(zhuǎn)。天車是自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）的核心搬運設備之一。
晶圓傳輸設備的核心部件主要包括晶圓裝載裝置、晶圓運輸機械手（Robot）、晶圓預對準機構（Pre-Aligner）和空氣過濾器（FFU）。在整個生產(chǎn)線上完成晶圓的分類、預對準和傳輸?shù)裙δ?，是連接物料搬運系統(tǒng)與晶圓處理系統(tǒng)的橋梁，是晶圓生產(chǎn)線不可或缺的重要組成部分。
適用產(chǎn)品：AMS 晶圓型多功能測試片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準片
